應用行業(yè)
可廣泛應用于氣體濃度傳感器、校準、測試研究,在新材料及特種材料的研究及制備方面,多配套于CVD使用,等離子刻蝕、催化評價(jià)、脫硫脫銷(xiāo)、氣體焊接等設備中也大量配套使用,大量在環(huán)保行業(yè)中干擾實(shí)驗——動(dòng)態(tài)混合矩陣實(shí)驗法中使用,主要是對氣源CO2、SO2、N2進(jìn)行動(dòng)態(tài)混合配比,為試驗提供一定流量范圍或濃度范圍的混合氣體?;旌蠚獾臐舛瓤珊?jiǎn)單地從稀釋倍數計算出來(lái),調節氣流比可以得到所需濃度的標準氣體。
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右側部分為氣路原理
用戶(hù)可以明確地知道氣路原理與氣路基本構成,并可通過(guò)手動(dòng)方式,控制內部截止閥(V1-V6的開(kāi)關(guān))
INLET1 - 設備所用背景氣,一般為空氣或氮氣。
INLET2 – 原料氣,用戶(hù)可通過(guò)列表選擇多種氣體種類(lèi)。
初級儲氣罐 - 用于二次配氣時(shí)儲存初級配比出的一定濃度氣體,系統自動(dòng)維持壓力在0.5MPa以下,在使用二級配氣條件下,初級儲氣罐自動(dòng)維持壓力在0.45-0.5MPa上下,用以滿(mǎn)足二級配氣下MFC4的正常工作使用壓差。
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技術(shù)優(yōu)勢
自動(dòng)調節濃度
自動(dòng)計算氣體流量
壓差和溫差不影響質(zhì)量流量測量
內部存儲校準數據
經(jīng)過(guò)多項校準,精度實(shí)際可達百分零點(diǎn)幾
同時(shí)混合8種氣體
測量和規定范圍可根據客戶(hù)要求定制
通過(guò)接口與外部PC連接控制
自動(dòng)程序控制
通過(guò)校準檢查質(zhì)量流量控制器
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